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        伯東貿易(深圳)有限公司
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        Hakuto離子蝕刻機20IBE-J應用于硬盤 GMR 磁頭

        • 發布日期:2021-02-27 07:42
        • 有效期至:長期有效
        • 招商加盟區域:全國
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        詳細說明
         硬盤磁頭, 是硬盤讀取數據的關鍵部件, 磁頭的好壞在很大程度上決定著硬盤盤片的存儲密度.

         

        GMR 磁頭的使用了磁阻效應更好的材料和多層薄膜結構, 這比以前的傳統磁頭和MR(Magneto Resisive)磁阻磁頭更為敏感, 相對的磁場變化能引起來大的電阻值變化, 從而實現更高的存儲密度.

         

        某硬盤磁頭制造商采用伯東 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 應用于硬盤磁頭鍍制GMR磁頭導電材料和磁性材料薄膜構.

         

        Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 技術參數

        離子蝕刻

        Φ4 inch X 12片

        基片尺寸

        Φ4 inch X 12片

        Φ5 inch X 10片

        Φ6 inch X 8片

        均勻性

        ±5%

        硅片刻蝕率

        20 nm/min

        樣品臺

        直接冷卻,水冷

        離子源

        Φ20cm 考夫曼離子源

         

        Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的核心構件離子源采用的是伯東公司代理美國 考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的射頻離子源 RFICP220

        伯東 KRI 射頻離子源 RFICP 220 技術參數:

        離子源型號

        RFICP 220

        Discharge

        RFICP 射頻

        離子束流

        >800 mA

        離子動能

        100-1200 V

        柵極直徑

        20 cm Φ

        離子束

        聚焦, 平行, 散射

        流量

        10-40 sccm

        通氣

        Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

        典型壓力

        < 0.5m Torr

        長度

        30 cm

        直徑

        41 cm

        中和器

        LFN 2000

        * 可選: 燈絲中和器; 可變長度的增量

         

        Hakuto 離子刻蝕機 20IBE-J 的樣品臺可以 0-90 度旋轉, 實現 GMR 磁頭均勻地接受離子的轟擊, 進而實現提高 GMR 磁頭的加工質量.

         

        若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

        上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
        T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
        F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
        M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
        ec@hakuto-vacuum.cn                      ec@hakuto.com.tw
        www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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